【摘 要】
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现在生产中较为广泛使用的硅杯式压力传感器的管芯是如图1所示的桥式电路,四个电阻由平面工艺扩散而成。硅弹性膜片受压变形,电阻阻值发生变化,若电阻设计时有R_1=R_2=R_3=R
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现在生产中较为广泛使用的硅杯式压力传感器的管芯是如图1所示的桥式电路,四个电阻由平面工艺扩散而成。硅弹性膜片受压变形,电阻阻值发生变化,若电阻设计时有R_1=R_2=R_3=R_4=R,每个电阻的增量为△R,则当恒压源E供电时,电压输出为:
Now more widely used in the production of silicon cup pressure sensor die is shown in Figure 1, the bridge circuit, the four resistors from the spread of planar technology. When the constant voltage source E is supplied, the output voltage of the silicon elastic membrane will be decreased due to the pressure deformation of the elastic membrane, and the resistance value will change. If the resistance design has R_1 = R_2 = R_3 = R_4 = R and the increment of each resistor is ΔR, for:
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