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本文用原子力显微镜（AFM），研究常用固化模具材料玻璃、有机玻璃（PMMA）和塑料制作的PDMS盖片的表面特性。并用XPS分析PDMS表面的化学组成，表明在优化的PDMS芯片制作条件下，PDMS芯片的自粘粘合力取决于盖片的表面粗糙度。
聚合物PDMS片表面特性的AFM和XPS初步研究
【摘 要】
：
本文用原子力显微镜（AFM），研究常用固化模具材料玻璃、有机玻璃（PMMA）和塑料制作的PDMS盖片的表面特性。并用XPS分析PDMS表面的化学组成，表明在优化的PDMS芯片制作条件下，PDMS芯片的
【机 构】
：
天津大学环境学院
【出 处】
：
现代仪器
【发表日期】
：
2007年1期
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