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Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体的高能重离子辐照缺陷研究

来源 :新疆大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：ztwpc2008

【摘 要】

：

用正电子湮没寿命谱技术研究了2.4×1015/cm2、2.2×1016/cm2注量的85MeV19F离子辐照N型GaP和1.6×1016/cm2注量的85MeV19F离子辐照P型InP所产生的辐照缺陷.结果表明:两种注

【作 者】

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黄龙 

【机 构】

：

新疆大学物理系,新疆,乌鲁木齐,830046

【出 处】

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新疆大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2003年2期

【关键词】

：

N型Gap P型InP 重离子辐照 辐照缺陷 正电子湮没寿命 

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用正电子湮没寿命谱技术研究了2.4×1015/cm2、2.2×1016/cm2注量的85MeV19F离子辐照N型GaP和1.6×1016/cm2注量的85MeV19F离子辐照P型InP所产生的辐照缺陷.结果表明:两种注量辐照在GaP中均产生较高浓度的单空位,其浓度随着辐照注量的增大而增加;辐照也在InP中产生较高浓度的单空位.

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