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为了对高精度电液伺服马达的内泄漏做定量研究，文中提出了一种基于有限元的油膜控制方程数值解法．该方法首先利用有限元软件ADINA计算密封件表面的接触应力，然后使用逆解法求解一维雷诺方程得到油膜厚度，进而计算出泄漏量与摩擦力，在计算过程中使用3次多项式拟合入口区压力，解决了逆解法中压力二阶导数函数拐点难以确定的问题；分析了O型圈预压缩率、介质压力、转子半径、马达转速及油温对泄漏量和摩擦力的影响．结果表明，与传统的迭代法相比，该方法具有较高的数值稳定性与效率，适用于不同工况下马达泄漏量和摩擦力的计算，为弹性填充