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以S3C2440A为控制核心，设计了衍射光栅刻划机的高精度运动控制系统，实现了现场显示、实时控制等功能。用S3C2440A微控制器控制伺服电机和步进电机完成光栅刻划的分度运动和刻划运动，通过SiGNUMTMRELM直线光栅尺反馈和PD加前馈控制算法补偿由于惯性等原因造成的分度误差，并用MATLAB对使用PD加前馈控制算法的分度运动进行仿真。采用RON225增量式角度编码器反馈以补偿执行刻划运动的步进电机因失步造成的误差，通过分析和处理实验数据获得分度运动最佳速度和伺服电机在此分度运动速度下停止时的过冲距离