【摘 要】
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采用同步辐射进行深度X射线光刻是LIGA工艺的关键工序 ,它包括LIGA掩模板的制备、光刻胶的涂制与深度X射线光刻等多个工艺环节 ,该技术在深宽比要求高的微光、微机械及微机电
【机 构】
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采用同步辐射进行深度X射线光刻是LIGA工艺的关键工序 ,它包括LIGA掩模板的制备、光刻胶的涂制与深度X射线光刻等多个工艺环节 ,该技术在深宽比要求高的微光、微机械及微机电系统的元件制造领域有独特优势[1] 。报道采用LIGA工艺制作微齿轮所涉及上述工艺的研究结果。
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