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针对影响功率器件可靠性的各种因素，重点阐述了粘片气泡对可靠性的影响，分析了粘片气泡的形成机理，提出了减少粘片气泡的新T艺技术，测试表明，新工艺技术的应用明显减少了粘片气泡，效果良好。
减少功率器件粘片气泡的工艺技术研究
【摘 要】
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针对影响功率器件可靠性的各种因素，重点阐述了粘片气泡对可靠性的影响，分析了粘片气泡的形成机理，提出了减少粘片气泡的新T艺技术，测试表明，新工艺技术的应用明显减少了粘片气泡，
【机 构】
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佛山市蓝箭电子股份有限公司
【出 处】
：
机电工程技术
【发表日期】
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2013年8期
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