应用国产激光微调机修正单片十二位D/A转换器中CrSi薄膜电阻

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本文主要讨论激光修正对硅上薄膜电阻稳定性的影响。文章通过对激光修正原理的分析,介绍了应用国产激光微调机修正CrSi 薄膜电阻的一些试验和试验方法。回答了激光修正 CrSi 薄膜电阻所能达到什么容限,激光修正速率是多少,激光修正采用哪几种几何形状,使修正后的电阻结构具有经受激光损伤的能力。文章对从事于激光微调机使用的人员有参考意义。 This article focuses on the impact of laser correction on the stability of silicon thin film resistors. By analyzing the principle of laser correction, this paper introduces some experiments and test methods of using domestic laser trimmer to modify CrSi film resistance. Answering the question of what tolerance the laser-trimmed CrSi thin-film resistor can achieve, how much the laser correction rate is, and what geometrical shapes the laser correction uses, the modified resistance structure has the ability to withstand laser damage. The article engaged in the laser trimmer use of personnel reference.
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