【摘 要】
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介绍了声学显微镜的基本结构、工作原理、测试技术及其一些典型应用．结合清华大学电子工程系近年来研制成功的ＴＨＳＡＭ声显微镜系列说明了这种新型检测设备具有的一些特殊功能，在航天、
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介绍了声学显微镜的基本结构、工作原理、测试技术及其一些典型应用．结合清华大学电子工程系近年来研制成功的ＴＨＳＡＭ声显微镜系列说明了这种新型检测设备具有的一些特殊功能，在航天、航空、电子等领域具有广阔的应用前景．
Introduced the basic structure of acoustic microscope, working principle, testing technology and some typical applications. Combined with the series of THSAM acoustic microscopes developed by Department of Electronic Engineering of Tsinghua University in recent years, this series of new testing equipment has some special functions and has broad application prospects in aerospace, aviation, electronics and other fields.
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