【摘 要】
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采用醋酸铅、硝酸锆、钛酸丁酯制备的独立前驱单体,通过溶胶-凝胶反提拉涂膜技术在基片Pt/Ti/SiO2/Si上制备了锆钛酸铅(lead zirconate titanate, PZT)铁电薄膜.反提拉涂膜技
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采用醋酸铅、硝酸锆、钛酸丁酯制备的独立前驱单体,通过溶胶-凝胶反提拉涂膜技术在基片Pt/Ti/SiO2/Si上制备了锆钛酸铅(lead zirconate titanate, PZT)铁电薄膜.反提拉涂膜技术是通过逆向思维而提出的薄膜制备新方法,该技术避免了浸渍提拉涂膜存在的机械传动装置较难操作和控制的问题,且能够一次性在多个异形器件上同时大面积涂膜.分析了不同金属离子掺杂,特别是高、低价离子混合掺杂对薄膜微结构和性能的影响,发现:同时掺杂La3+,Ca2+离子比单独掺杂La3+离子薄膜的剩余极化强度Pr
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