【摘 要】
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本文利用涡轮分子泵叶片的微分电路模型,导出了涡轮分子泵压缩比与泄漏间隙、叶轮间距之间的简明关系,并提出了压缩比综合修正的方法。计算结果与实测值合得很好,并表明压缩
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本文利用涡轮分子泵叶片的微分电路模型,导出了涡轮分子泵压缩比与泄漏间隙、叶轮间距之间的简明关系,并提出了压缩比综合修正的方法。计算结果与实测值合得很好,并表明压缩比与叶轮间距之间的关系并不象分子拖动理论预期的那样密切。
In this paper, the differential circuit model of turbo-molecular pump blades is used to derive the simple relationship between the compression ratio of turbo-molecular pump, the leakage gap and the impeller spacing, and the method of comprehensive correction of compression ratio is proposed. The calculated results agree well with the measured values and show that the relationship between compression ratio and impeller spacing is not as close as expected from molecular drag theory.
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