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期刊论文
莫尔轮廓仪的光学特性
莫尔轮廓仪的光学特性
来源 :光电工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yd476789385
【摘 要】
:
本文阐述了照射型莫尔轮廓仪的原理,仪器的主要结构特点及其主要光学特性,同时还介绍了轮廓仪的应用情况,从而对轮廓仪的主要特性作了全面介绍。
【作 者】
:
曹向群
曹根宏
【机 构】
:
浙江大学光仪系,浙江大学光仪系杭州,杭州,杭州
【出 处】
:
光电工程
【发表日期】
:
1991年4期
【关键词】
:
轮廓测量
莫尔轮廓法
光学特性
Profile measurement
Moire profile measurement method Optical pr
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本文阐述了照射型莫尔轮廓仪的原理,仪器的主要结构特点及其主要光学特性,同时还介绍了轮廓仪的应用情况,从而对轮廓仪的主要特性作了全面介绍。
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