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１引言许多大型进口分析仪器（如ＰＨＩＬＩＰ公司生产的ＣＭ１２型透射电子显微镜）在工作时，为了在其真空室内产生和维持较高的真空氛围，一般采取的办法是设备开机后，机械真空泵和油扩散泵依次投入工作，吸收和排出真空室内的大部分气体。当真空室内的气压下降到０．...
离子泵／离子规的工作原理与维护
【摘 要】
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１引言许多大型进口分析仪器（如ＰＨＩＬＩＰ公司生产的ＣＭ１２型透射电子显微镜）在工作时，为了在其真空室内产生和维持较高的真空氛围，一般采取的办法是设备开机后，机械真空泵和油扩散泵依次投入工作，吸
【机 构】
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武汉汽车工业大学电子与信息学院
【出 处】
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电子仪器仪表用户
【发表日期】
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1998年5期
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