锆钛酸铅铁电薄膜材料的制备方法

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本发明提供一种锆钛酸铅铁电薄膜材料的制备方法。该铁电薄膜材料的前驱体溶液由硝酸锆、钛酸四丁酯、醋酸铅、醋酸、去离子水和氨基酸组成。制备时,先用匀胶机对滴到基片上的前驱体溶液进行甩胶,形成凝胶膜,然后将凝胶膜放在快速退火炉中分段升温进行热处理,重复上述 The present invention provides a method for preparing lead zirconate titanate thin film material. The precursor solution of the ferroelectric thin film material is composed of zirconium nitrate, tetrabutyl titanate, lead acetate, acetic acid, deionized water and amino acids. Preparation, the first drip with a dispenser on the substrate precursor solution rejection gel, the formation of gel film, and then the gel film was placed in a rapid annealing furnace heat treatment stage by stage, repeat the above
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