【摘 要】
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本文利用有限元方法开展了一种基于声表面波(surface acoustic wave,SAW)的单端对谐振型温度传感器件的优化设计.利用参数化扫描方法,对YX石英晶体(YX-Quartz)表面SAW传播模态、导纳特性等进行分析,得到电极相对膜厚为1.5％时,器件具有最小损耗.同时结合等效电路模型,提取优化后器件的电学参数.在此基础上,实验制备出工作频率为436.56 MHz的谐振型SAW温度传感器件,测试品质因子达9000,其频率温度系数为9.009 kHz/℃,线性度为5.5069×10-5％.结合射频
【机 构】
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中国科学院大学,北京100190;中国科学院声学研究所,北京100190;中国科学院声学研究所,北京100190;江苏声立传感技术有限公司,江苏 南通226000;苏州大学电子信息学院,江苏 苏州21
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本文利用有限元方法开展了一种基于声表面波(surface acoustic wave,SAW)的单端对谐振型温度传感器件的优化设计.利用参数化扫描方法,对YX石英晶体(YX-Quartz)表面SAW传播模态、导纳特性等进行分析,得到电极相对膜厚为1.5％时,器件具有最小损耗.同时结合等效电路模型,提取优化后器件的电学参数.在此基础上,实验制备出工作频率为436.56 MHz的谐振型SAW温度传感器件,测试品质因子达9000,其频率温度系数为9.009 kHz/℃,线性度为5.5069×10-5％.结合射频读取模块,搭建了无源无线温度测试平台.实验结果显示全温范围(-20℃～120℃)内测温精度优于±2℃.
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