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金属薄膜的制备及薄膜特性的研究是当今微电子技术发展和材料科学研究领域中的重要课题.本文介绍了如何将溅射镀膜及薄膜生长的动态监测技术引入到普通物理实验教学中，以及在相关实验教学装置的设计、实验内容的编排和教学方式等方面的一些特点.
将溅射镀膜及薄膜生长动态监测技术引入普通物理实验
【摘 要】
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金属薄膜的制备及薄膜特性的研究是当今微电子技术发展和材料科学研究领域中的重要课题.本文介绍了如何将溅射镀膜及薄膜生长的动态监测技术引入到普通物理实验教学中，以及在
【机 构】
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北京科技大学应用科学学院物理系，北京100083
【出 处】
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第三届全国高等学校物理实验教学研讨会
【发表日期】
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2004年8期
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