高纯锗探测器低本底硅前端电路基板设计

来源 :核电子学与探测技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:javabudong
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设计并完成了用于高纯锗探测器的硅基低本底前端电路基板.结合装配需求、基板特征阻抗和工艺可行性完成了尺寸为15 mm×15 mm,包含14个通孔结构的硅基板设计.利用光敏性苯并环丁烯在硅基板上进行焊盘开窗,同时作为金属布线保护性介质.通过微纳加工工艺完成了硅基板的制备,通过ASIC芯片的引线键合、无源器件的表面贴装完成了封装.实验测试表明:硅基板功能良好、噪声水平优于有机基板、可以通过初步的可靠性测试(冷热冲击100个循环、高温储存72 h)、在连续8 h工作中稳定性良好.
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