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一种以水溶液法制备氧化铟锡粉末的方法，其是利用水及适当添加剂，分别溶解锢化合物、锡化舍物于水中，而配制出二澄清的溶液，再加入适当添加剂，产生一定比例的金属氢氧化物，经过滤及水洗后，并加入适当添加剂予以解胶，使不同金属氢氧化物的特定成分发生水解、凝缩等反应，接着经干燥和煅烧，制成高品质的纳米级（nano meter、10—9）氧化铟锡粉末。本发明所述方法制备的氧化铟锡粉末具有更高的致密度。