【摘 要】
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目的研究了甲烷直流放电等离子体中氢自由基的形成规律、高纯度（体积比99．99％）甲烷气的分解规律，以及氢自由基的吸收光谱强度随放电时间的变化规律。方法用光电光谱技术代替常规的
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目的研究了甲烷直流放电等离子体中氢自由基的形成规律、高纯度（体积比99．99％）甲烷气的分解规律，以及氢自由基的吸收光谱强度随放电时间的变化规律。方法用光电光谱技术代替常规的化学测试方法，测量了纯甲烷直流放电等离子体中甲烷的红外发射光谱2．3μm和氢自由基的656．3nm吸收光谱。为甲烷气的分解与再利用研究提供了实验依据。结果由氢的吸收光谱强度变化证明了甲烷在直流放电等离子体中的分解过程是一个开始时迅速分解，尔后逐渐减慢，直到最后达到动态平衡的过程。结论在上述分解过程中，甲烷分子总量经历了一个开始不断减少
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