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期刊论文
AlN陶瓷活性法金属化
AlN陶瓷活性法金属化
来源 :真空电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:laurachenqh
【摘 要】
:
对AlN陶瓷活性金属化Ag-Cu-Ti钎料配方及工艺进行了研究,发现该钎料浸润AlN陶瓷是活性组元Ti与AlN发生化学反应的结果.要获得良好的金属化质量,钎料中Ti含量应高于2.0%(质量
【作 者】
:
张小勇
陆艳杰
刘鑫
方针正
楚建新
【机 构】
:
北京有色金属研究总院
【出 处】
:
真空电子技术
【发表日期】
:
2007年4期
【关键词】
:
AlN
活性金属化
Ag-Cu-Ti钎料
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对AlN陶瓷活性金属化Ag-Cu-Ti钎料配方及工艺进行了研究,发现该钎料浸润AlN陶瓷是活性组元Ti与AlN发生化学反应的结果.要获得良好的金属化质量,钎料中Ti含量应高于2.0%(质量比),金属化层与AlN反应界面厚度应控制在10~15 μm范围内.
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