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用SEM/EDS,XRD,TEM/EDS等对1000℃下的Ni20Cr合金及其离子注Y(剂量分别为1×1015,2×1016和1×1017ions/cm2)后的氧化膜表面形貌、微观结构和氧化产物进行观测分析,确认氧化膜由具有较大晶粒尺寸的NiO,NiCr2O4尖晶石和较小晶粒尺寸的Cr2O3氧化物组成,且在部分NiO三角晶界处发现有空洞产生,注入Y剂量大于2×1016ions/cm2后,Cr的氧化产物的体积分数明显增多,并在其中探测到Y,它大多以含Y的氧化物小颗粒存