【摘 要】
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在热力学分析的基础上，计算了在Ｇａ（ＣＨ３）３—ＡｓＨ３—Ｈ２体系中在５００Ｋ—１２００Ｋ的温度范围内，可能的含砷及砷化物的形态和浓度．同时通过大量的模拟实验找出了去除尾气中砷的最好方法，还研制出用三级逆向喷淋法的
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在热力学分析的基础上，计算了在Ｇａ（ＣＨ３）３—ＡｓＨ３—Ｈ２体系中在５００Ｋ—１２００Ｋ的温度范围内，可能的含砷及砷化物的形态和浓度．同时通过大量的模拟实验找出了去除尾气中砷的最好方法，还研制出用三级逆向喷淋法的治理设备，对尾气进行治理．治理后的尾气中砷的含量符合国家排放标准．
Based on the thermodynamic analysis, the possible arsenic and arsenide forms and concentrations in the Ga (CH3) 3-AsH3-H2 system at 500K-1200K were calculated. At the same time through a large number of simulation experiments to find the best way to remove arsenic in the exhaust gas, but also developed with three reverse spraying method of governance equipment, the exhaust gas treatment. After treatment, the content of arsenic in the tail gas meets the national emission standards.
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