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本文介绍了一种隧道式石英坩埚干燥系统，采用循环热风进行加热，可以实现程序分段控温，使清洗后的石英坩埚分别经过低温干燥、中温干燥和高温干燥，从而使石英坩埚逐步加热到后续工序的生产要求。
分段隧道式循环热风石英坩埚干燥系统
【摘 要】
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本文介绍了一种隧道式石英坩埚干燥系统，采用循环热风进行加热，可以实现程序分段控温，使清洗后的石英坩埚分别经过低温干燥、中温干燥和高温干燥，从而使石英坩埚逐步加热到后续工
【机 构】
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江苏华尔光电材料股份有限公司
【出 处】
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中国西部科技
【发表日期】
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2011年26期
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