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研究了一种准标准格式的三维实体文件的结构，在此基础上提出了三维实体到标准工艺版图的转换方法，并采用VC＋＋编程语言开发了相应的转换接口．最后通过典型MEMS器件——微机械加速度计进行了验证，结果表明这种转换方法是切实可行的．
一种新型三维实体到标准工艺版图的转换方法
【摘 要】
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研究了一种准标准格式的三维实体文件的结构，在此基础上提出了三维实体到标准工艺版图的转换方法，并采用VC＋＋编程语言开发了相应的转换接口．最后通过典型MEMS器件——微机械加速度
【机 构】
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西北工业大学微／纳米系统实验室
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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2006年05A期
【基金项目】
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863/MEMS重大专项资助项目(2005AA404240)
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