【摘 要】
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利用时域有限差分法（FDTD）研究了晶圆片中SiO2沟槽尺寸变化对其表面吸收率的影响.同时利用等效介质理论（EMT）对预测结果进行了进一步解释分析.计算结果表明,次波长光栅时,EMT可以
【机 构】
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东北大学国家环境保护生态工业重点实验室
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划项目(2009AA05Z2152008AA042901)
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利用时域有限差分法（FDTD）研究了晶圆片中SiO2沟槽尺寸变化对其表面吸收率的影响.同时利用等效介质理论（EMT）对预测结果进行了进一步解释分析.计算结果表明,次波长光栅时,EMT可以很好地预测光谱吸收率的变化;当SiO2沟槽宽度增加时腔共振效应提高了晶圆片表面的吸收率;当光栅周期与入射波长大小相当且填充比不是很小时,吸收率曲线在短波长区会出现较为强烈的震荡.
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