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化学气相沉积（Chemical Vapor Deposition，CVD）金刚石膜已广泛用于导弹头罩等军事装备中，但其抛光的难度较大．在研究机械、激光、化学辅助机械、磨料水射流、热化学等典型曲面CVD金刚石膜抛光方法原理和特点的基础上，重点研究了热化学抛光方法，并采用热化学法对导弹头罩金刚石膜进行了抛光试验，结果表明，热化学抛光法能够有效地抛光曲面金刚石膜，抛光效率较高，满足导弹头罩金刚石膜的各项指标要求．