论文部分内容阅读
以云母（001）为衬底，采用无机溶胶凝胶法，通过加入表面活性剂十二烷基三甲基溴化铵（CTAB），在不同条件下制备了多孔VO2薄膜。采用SEM、FT-IR等手段分析了薄膜的表面形貌和热致相变性能。结果表明，膜的热处理工艺参数等对薄膜的表面形貌、颗粒尺寸及光学性能有重要影响，多孔VO2薄膜的形成与退火温度、保温时间及退火环境有关。