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针对超深亚微米层次下的金属互连设计，使用Raphael(集成布线互连）仿真系统完成了互连寄生效应参数的提取。介绍了Raphael仿真系统的主要功能及基本应用，并分析了常规集成布线互连参数模型。采用二层跨越式互连结构，对寄生电阻、电容参数进行了仿真，并得到电流密度的分布结果。这些参数的提取及验证对电路的布局设计是十分重要的。