【摘 要】
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利用直流磁控溅射方法在液体(硅油)基底表面成功制备出具有自由支撑边界条件的金属银薄膜系统,研究了该薄膜的形成机理、表面形貌演化规律及内应力释放机制。实验发现银薄膜
【机 构】
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台州学院物理系,中国计量学院物理系,浙江大学物理系
【基金项目】
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国家自然科学基金(No.20571067,20601024)资助课题
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利用直流磁控溅射方法在液体(硅油)基底表面成功制备出具有自由支撑边界条件的金属银薄膜系统,研究了该薄膜的形成机理、表面形貌演化规律及内应力释放机制。实验发现银薄膜的形成过程基本可分为准圆形团簇、分枝状结构凝聚体和连续薄膜等几个阶段。沉积后,当样品暴露在大气环境中,银薄膜自身产生强烈收缩效应并促使其表面形貌不断演化,一直持续到几十小时之后薄膜系统的自由能降到最低为止。由于金属薄膜与液体基底之间的切向相互作用能几乎为零,银薄膜在收缩过程中可形成宽大的裂纹和平行的直线状(或扭曲状)褶皱花样。基于薄膜的应力理论,本文对银薄膜的开裂和起皱行为进行了详细研究。
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