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采用动力学蒙特卡罗(Kinetic Monte Carlo)方法模拟了Si／Ge系统自组织生长Ge量子点过程中二维Ge岛成核的早期阶段，引入吸附原子导致的应力场，对原子扩散的势垒进行了修正，研究了温度和应力场分布对二维Ge岛成核位置以及尺寸分布的影响，结果表明应力场对二维岛的成核具有决定作用，采用调制应力的方法可以有效控制量子点的自组织生长过程。