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近空间升华沉积CdTe薄膜的微结构和PL谱
近空间升华沉积CdTe薄膜的微结构和PL谱
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ergezhi
【摘 要】
:
用近空间升华法在CdS薄膜上沉积了CdTe薄膜.研究了在两种保护气氛下所沉积的多晶CdTe薄膜在后处理后的微结构、表面形貌及光致发光(PL)谱,并研究了CdTe表面和CdS/CdTe界面的PL谱
【作 者】
:
武莉莉
冯良桓
蔡伟
张静全
蔡亚平
郑家贵
朱居木
陈诺夫
【机 构】
:
四川大学材料科学系,中国科学院半导体研究所材料科学开放实验室
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
2003年8期
【关键词】
:
近空间升华
碲化镉薄膜
微结构
光致发光谱
太阳电池
close spaced sublimation
CdTe films
microstructure
ph
【基金项目】
:
国家高技术研究与发展计划 (编号 :2 0 0 1AA5 13 0 10 ),国家重点基础研究发展规划(编号:G2 0 0 0 0 2 82 0 8)资助项目~~
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用近空间升华法在CdS薄膜上沉积了CdTe薄膜.研究了在两种保护气氛下所沉积的多晶CdTe薄膜在后处理后的微结构、表面形貌及光致发光(PL)谱,并研究了CdTe表面和CdS/CdTe界面的PL谱的区别,根据薄膜的微结构对碲化镉在太阳电池中的应用进行了讨论.
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