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臭氧处理作为有害化学物质的分解及病原性微生物的失活方法已引起瞩目。在净水处理中,臭氧处理以霉臭(异味的去除)、色度的去除、减少三卤甲烷生成量等为目的,已在40多个场所应用。在净水过程中,有在凝聚处理前进行的臭氧前处理,在沉淀和砂滤之间进行的臭氧后处理。和原水中溴化合物离子高的场合,抑制溴酸生成的技术非常重要,如果将溶解臭氧浓度控制在1mg/L一下,去除三卤甲烷前驱物等,即可达到臭氧处理的目的,溴酸离子的生成也可得到抑制。在利用臭氧进行深度净水中,作为新的技术发展,促进氧化处理(AOP)、臭氧和二氧化氯并用