【摘 要】
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半导体工艺中使用的高纯金一般都采用直接光谱法和化学光谱法测定其纯度。最近我们用等离子光谱法进行了高纯金的分析,这种新的方法具有取样量少、灵敏度高、基体可以不经分
【机 构】
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南京固体器件研究所,南京固体器件研究所,南京固体器件研究所,
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半导体工艺中使用的高纯金一般都采用直接光谱法和化学光谱法测定其纯度。最近我们用等离子光谱法进行了高纯金的分析,这种新的方法具有取样量少、灵敏度高、基体可以不经分离、操作简便快速等优点,而且适合于镀金层中杂质的分析。 (一)仪器设备及试剂 1.等离子光谱仪:用东德蔡司厂
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