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该成果在理论上揭示了单晶抛光片表面悬挂键强力场对周围环境颗粒吸附状态的转化规律，提出了重要的优先吸附数字模型。在此基础上，通过大量实验，选择出适于微电子工业应用的FA／O非离子表面活性剂。它是无离子共价健化合物，具有强渗透性，可托起已吸附粒子，在硅单晶片表面具有很好的润湿铺
FA／O高纯多功能界面活性剂
【摘 要】
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该成果在理论上揭示了单晶抛光片表面悬挂键强力场对周围环境颗粒吸附状态的转化规律，提出了重要的优先吸附数字模型。在此基础上，通过大量实验，选择出适于微电子工业应用的FA／O
【机 构】
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河北工业大学300130
【出 处】
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技术与市场
【发表日期】
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2004年1期
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