论文部分内容阅读
介绍了硅微加速度计的基本原理以及国内外最新发展的几种硅微加速度计的结构形式，包括压阻式、电容式、隧道式等，分析了这些传感器的基夸特点，总结出它们在传感器性能方面存在的一些问题，提出了一些解决关键问题的措施，并对目前两种新的微机理：共振隧穿和介观压阻效应的原理和应用前景进行了论述。
硅微型加速度传感器技术
【摘 要】
：
介绍了硅微加速度计的基本原理以及国内外最新发展的几种硅微加速度计的结构形式，包括压阻式、电容式、隧道式等，分析了这些传感器的基夸特点，总结出它们在传感器性能方面存在的
【机 构】
：
中北大学微米纳米技术研究中心
【出 处】
：
仪表技术与传感器
【发表日期】
：
2007年3期
其他文献
[背景材料] 1.2006年6月29日修订通过的《中华人民共和国义务教育法》第四十一条规定：国家鼓励教科书循环利用。 2.2007年9月14日出台的《教育部关于开展节能减排学校行动的通知》明确提出：结合农村义务教育试行免费教科书制度，开展教科书的循环使用试点工作，总结经验、逐步推广。 3.按每人每年课本平均重2500克计算，我国每年中小学生使用的教科书需消耗纸张达55万吨之多。生产这些纸
中考综合复习阶段,是学生对知识全面系统的整合阶段。因为历史学科知识间的联系十分密切;历史概念多,涉及内容广泛;时间跨度大,中外历史时代特征复杂;
材料一：我国的改革从农村起步、率先在农村突破，而改革开放３０年又推动农村发生了翻天覆地的变化：粮食总产量超过５亿吨；主要农产品供求总体基本平衡；人均纯收入超过４０００元；新农合惠及７．３亿农民…… 材料二：改革开放以来，我国邮政业从传统步入现代，通信格局明显改变；电信业构建起了全方位、多层次、多方式的网络体系；网民达到２．１亿，信息化进程明显加快。 ２００８年１１月１日，纪念改革开放３０周年大
设计了基于ARM9核心的天然气流量积算仪，接收流量变送器输出的模拟信号、脉冲信号或HART信号，设计了压力传感器和温度传感器接口电路；基于WinCE平台上开发了系统软件，输入天然气
The formulation of multibody dynamics was studied based on variational principle. The body coonection matrix was intro-duced to define the connection configurat
维生素Ａ与癌症张斌维生素Ａ又称视黄醇，分Ａ１和Ａ２两种．主要作用是维持上皮组织（皮肤、角膜及结合膜）正常机能，参与视紫质合成，增强视网膜感光性能，也参与体内许多氧化过程。过去多用于维生素
稀土是中国重要的战略资源和工业核心原料。随着国民经济的快速发展,市场对高品位稀土精矿的需求越来越大,高品位稀土变得尤为重要。目前稀土浮选生产面临的主要技术问题是稀
综观近几年各地的思想品德中考试题,从选择题到简答题,从分析说明题到实践探究题,题目所遴选的材料大多为公众所关注的时事热点,具有很强的时代特色。题目设计均要求学生运用
针对目前温度采集系统对数据无线传输、多点采集的需求,提出了基于无线收发芯片nRF24E1的短距离无线多点温度测量系统。系统以射频收发芯片nRF2401为核心,采用数字式温度传感器DS18B20精确测温,实现了短距离无线传输和多点温度数据的采集,并将数据发送至上位机,实现了温度数据的存储、显示、查询等功能。实践结果表明:该系统能够应用在多种温度测量领域,单点测温误差在±0.5℃以内,室内发射距离约3