【摘 要】
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ASYST近13宣布推出Agile Automation，这是一种在半导体晶圆厂新的自动化物料处理（Automated Material Handling）方式。Agile Automation是开创业界先例的解决方案。它大幅增加晶
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ASYST近13宣布推出Agile Automation，这是一种在半导体晶圆厂新的自动化物料处理（Automated Material Handling）方式。Agile Automation是开创业界先例的解决方案。它大幅增加晶圆厂的生产力，”通过模块化增强现有AMHS制度。Agile Automation具有并行加载和卸载几项工具的功能，同时大幅度减少对搭载置顶输送工具（Overhead Transport Vehicles，OHV）的依赖。
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