基于MEMS的新型高场不对称波形离子迁移谱仪

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简要回顾了离子迁移谱技术的发展历程,叙述了常规离子迁移谱的局限性。阐述了基于MEMS工艺的新型高场不对称波形离子迁移谱技术,该技术以物质离子的离子迁移率在高场下的非线性变化特性为基础,可实现对物质离子的空间分离。以MEMS技术为主体,自主研发了高场不对称波形离子迁移谱仪,并对挥发性有机物、苯系物、爆炸物和农药等样品进行了检测,结果表明该离子迁移谱仪能够对苯、丙酮、对二甲苯、爆炸物梯恩梯和农药硫丹等物质实现快速、高分辨和高灵敏度检测,检测精度达10-9量级,线性度达0.95。该结果展示了其在物质离子分离检测方面的巨大潜力,以及在环境、食品安全和生物大分子等领域的优越性和前景,其研究成果将推动下一代物质离子分离检测技术的发展。 The development history of ion mobility spectrometry is briefly reviewed, and the limitations of conventional ion mobility spectrometry are described. The new high field asymmetric waveform ion mobility spectrometry based on MEMS technology is described. Based on the non-linear variation characteristics of ion mobility of matter ions in high field, the spatial separation of material ions can be realized. Taking MEMS technology as the main body, the high field asymmetric waveform ion mobility spectrometer was independently developed. The samples of volatile organic compounds, benzene series, explosives and pesticides were tested. The results show that the ion mobility spectrometer can detect benzene, Acetone, paraxylene, TNT explosives and pesticide endosulfan and other substances to achieve rapid, high resolution and high sensitivity detection, detection accuracy of 10-9 magnitude, linearity of 0.95. This result shows its great potential in the detection of material ion separation and its advantages and prospects in the fields of environment, food safety and biological macromolecules. The research results will promote the development of the next generation ion detection technology.
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