【摘 要】
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以K9和熔石英玻璃为基底结合溶胶-凝胶镀膜技术,制备了用于负载1 064nm和355nm激光辐射的高损伤阈值透射玻璃元件。综合考虑基底表面和亚表面质量及薄膜质量,系统分析了影响
【机 构】
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同济大学物理科学与工程学院,同济大学上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室,成都精密光学工程研究中心
【基金项目】
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上海市科委纳米专项资助项目（11nm0501600）,国家自然科学基金委员会和中国工程物理研究院联合基金资助项目（U1230113）,国家科技支撑计划资助项目（2013BAJ01B01）
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以K9和熔石英玻璃为基底结合溶胶-凝胶镀膜技术,制备了用于负载1 064nm和355nm激光辐射的高损伤阈值透射玻璃元件。综合考虑基底表面和亚表面质量及薄膜质量,系统分析了影响激光损伤阈值的因素,并通过基底加工与薄膜改性的结合大幅提高了元件的损伤阈值。在薄膜改性方面,采用溶胶内添加聚乙二醇和氨气氛处理相结合的方法,使薄膜的结构缺陷减少,孔径分布更合理,所得薄膜的抗激光损伤能力远大于未处理的基底的。在基底加工方面,采用超级抛光和化学腐蚀的方法获得了超光滑表面和低缺陷亚表面,使用于红外波段的K9玻璃和紫外波段
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