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采用X射线光电子能谱(XPS)研究了不同热处理后浮法玻璃和单银Low-E玻璃的表面化学组成。结果表明,钢化、真空退火、钢化+真空退火都能增加浮法玻璃中Na+向表面的扩散,真空退火能使表面富集的Na+挥发;热处理能使未镀膜面的Na+挥发到膜面。真空退火和先钢化再真空退火处理样品表面锡的相对含量高于钢化处理样品。热处理使Low-E镀膜玻璃的表面层Si和SiNx复合膜层氧化,形成SiNxOy/SiOx复合膜层,能提高Low-E玻璃的可见光透过率。