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讨论金属有机化合物气相沉积(MOCVD)方式生长晶体的一种动力学解释.应用分子动力学、化学反应动力学等推导出MOCVD反应过程中晶体生长速度-原材料输运速度有关的公式,并应用这个公式进行了计算,计算结果与实际生长时的参数接近.
MOCVD生长的动力学模式探讨
【摘 要】
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讨论金属有机化合物气相沉积(MOCVD)方式生长晶体的一种动力学解释.应用分子动力学、化学反应动力学等推导出MOCVD反应过程中晶体生长速度-原材料输运速度有关的公式,并应用
【机 构】
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华南师范大学信息光电子学学院
【出 处】
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华南师范大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2003年2期
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