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<正> 一、引言 在金刚石薄膜的制备过程中,人们往往监测成膜过程中的宏观参量,使其工艺的重复性,优选性受到了很大限制。而随着对膜质量和结构的要求越来越高,人们开始开展对低压下合成金刚石机理的研究,但至今未见系统地研究宏观参量与等离子体参量方面的工作报道。
金刚石簿膜淀积过程中微波等离子体特性
【摘 要】
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<正> 一、引言 在金刚石薄膜的制备过程中,人们往往监测成膜过程中的宏观参量,使其工艺的重复性,优选性受到了很大限制。而随着对膜质量和结构的要求越来越高,人们开始开展对
【机 构】
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中国科学院武汉物理所,中国科学技术大学
【出 处】
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核聚变与等离子体物理
【发表日期】
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1992年2期
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