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在半导体制造中,光刻胶是重要的原材料之一.本文从转速与膜厚、感光灵敏度、图形变化差等方面对ORM-85光刻胶进行了研究,得出了用于大生产的一套工艺.解决了接触式曝光方式粘版的问题及提高了产能.
OMR—85光刻胶的研究与应用
【摘 要】
：
在半导体制造中,光刻胶是重要的原材料之一.本文从转速与膜厚、感光灵敏度、图形变化差等方面对ORM-85光刻胶进行了研究,得出了用于大生产的一套工艺.解决了接触式曝光方式粘
【机 构】
：
无锡华晶微电子股份有限公司
【出 处】
：
微电子技术
【发表日期】
：
2002年3期
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