【摘 要】
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在测量系统中,CCD的非线性效应会影响复杂光学三维面形的测量精度,针对这一问题,提出采用双频光栅投影消除CCD的非线性效应以提高测量精度。首先,分析了CCD非线性效应对三维
【机 构】
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湖南文理学院国际学院,湖南省洞庭湖生态经济区协同创新中心,湖南文理学院数理学院,成都信息工程大学光电工程学院,电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(No.61701050,No.61703157,No.61701050),电子薄膜与集成器件国家重点实验室开放课题资助项目(No.KFJJ201807),四川省教育厅科研项目(No.2018Z073)。
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在测量系统中,CCD的非线性效应会影响复杂光学三维面形的测量精度,针对这一问题,提出采用双频光栅投影消除CCD的非线性效应以提高测量精度。首先,分析了CCD非线性效应对三维面形测量的影响,给出了该情况下出现频谱混叠的解析推导和物理解释。然后,讨论了CCD非线性效应下的双频光栅测量原理,分析了此时变形条纹的光强分布及其经傅立叶变换后得到混叠频谱的原理。最后,给出了由等效波长来衡量测量精度的方法,推出了使用双频光栅投影测量三维面形高度信息的基本公式,并进行了理论分析。对最大绝对值与平均绝对值分别为24.318
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