【摘 要】
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西德的马克斯普朗克固体研究所在试制一种能直接观察半导体生长情况的X射线/电视系统。这种装置既可用于半导体研究又可以在工厂中用于在制备过程中对晶体和器件进行非破坏
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西德的马克斯普朗克固体研究所在试制一种能直接观察半导体生长情况的X射线/电视系统。这种装置既可用于半导体研究又可以在工厂中用于在制备过程中对晶体和器件进行非破坏性检查。例如在制备器件时,
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