【摘 要】
：
本文制备了几种含不同磨料(SiC、Al2O3、不同粒径SiO2)的抛光液,通过纳米粒度仪分析磨料粒径分布,采用原子力显微镜观察磨料的粒径大小。研究了不同磨料对蓝宝石晶片化学机械
论文部分内容阅读
本文制备了几种含不同磨料(SiC、Al2O3、不同粒径SiO2)的抛光液,通过纳米粒度仪分析磨料粒径分布,采用原子力显微镜观察磨料的粒径大小。研究了不同磨料对蓝宝石晶片化学机械抛光(CMP)的影响,利用原子力显微镜检测抛光前后蓝宝石晶片表面粗糙度。实验结果表明,在相同的条件下,采用SiC、Al2O3作为磨料时,材料去除速率与表面粗糙度均不理想;而采用含1%粒径为110 nm SiO2的抛光液,材料的去除速率最高为41.6 nm/min,表面粗糙度Ra=2.3 nm;采用含1%粒径为80 nm SiO2的抛光液,材料的去除速率为36.5 nm/min,表面粗糙度最低Ra=1.2 nm。
其他文献
<正>本项目位于四川省蒲江县明月村的松林茶田之间,这里有非常适合制作陶器的泥土。受现代工业化影响,和大部分民间手艺一样,陶艺已经濒临消失。明月村以在地的方式,良性地把
课程改革提倡构建高效课堂、兴趣课堂，提升学生的信息技术素养。而要实现这一目标，对教学素材的选择就是其中一个重要的环节，教师应根据教学内容的特点，精选富有趣味性、生活性、
现今我国社会保障体制尚不完善,每年大约有十万婴儿因先天缺陷、病症难治等原因被遗弃到医院、街道甚至无人知晓的荒郊野岭,弃婴的生命安全亟需保障。弃婴岛的根本目的在于保
会议口译作为一项独立性、不可预测性很强的信息交流活动,它包括的不仅仅是对信息进行接受、解读、传达等口译现场性环节,译前准备作为口译现场外的一部分,在口译活动中扮演
油菜籽特种逆流烘干机崔先长湖南省常德市米业公司曾庆红刘清莲湖南常德粮油烘干机厂油菜籽在我国油料作物中占有愈来愈大的比例。江南油菜籽收获时正值春夏之交阴雨季节。由
本文以有关欧洲政党的研究文献为资源 ,以政党嬗变问题为线索 ,对政党组织类型学知识、政党嬗变问题的概念和分析维度进行了梳理 ,进而考察了有关政党嬗变的动力机制的研究成
“毒品犯罪无疆界”,这句话恰好说出了我国云南省的切身之痛。数十年来,由于云南省毗邻毒品之源———东南亚“金三角”,禁毒形势比全国其他地区要严峻得多。单纯地堵截,难免
<正>不懂外国语言,也就不懂自己的语言。——歌德一前言本文唯一的目的是归纳:什么是传统戏曲表演特征?接着问,为什么传统戏曲表演成为世界剧坛唯一的、独特的表演体系?它的
师范生的师范技能是以后为人师表的一个有力保障,是大学师范类学生必须掌握的实践技能之一,对于师范生来讲师范技能培训的必要性一目了然,本文以数学专业师范生为例,就师范技
分析课程实施的影响因素对推动课程改革的发展来说十分重要。本文对重庆北碚实验区的两所学校进行了个案调查,从新课程本身的特征、宏观社会以及学校内部三个层面出发,分析了