微管在6H-SiC单晶生长过程中的演化

来源 :硅酸盐学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：Bo_Gao

【摘要】

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采用升华法生长调制掺氮的6H-SiC单晶,其[0001]方向纵切片的掺氮条纹表明,晶体的生长前沿由初始生长阶段的凸形逐渐变成了后续生长阶段近似平坦的形状.发现近似平坦的生长前

【作者】

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韩荣江王继扬徐现刚胡小波李娟李现祥蒋

【机构】

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山东大学,山东大学

【出处】

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硅酸盐学报

【发表日期】

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2004年11期

【关键词】

：

碳化硅单晶升华法调制掺氮微管生长前沿 Crystal lattices Crystalline materials Doping (additives)

【基金项目】

：

国家高技术研究发展计划(863计划)，国家自然科学基金

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采用升华法生长调制掺氮的6H-SiC单晶,其[0001]方向纵切片的掺氮条纹表明,晶体的生长前沿由初始生长阶段的凸形逐渐变成了后续生长阶段近似平坦的形状.发现近似平坦的生长前沿有利于单晶质量的提高.透射光学显微镜观察发现,若微管的延伸方向与6H-SiC晶体的[0001]方向偏离角度较大时,微管变得不稳定而离解消失;微管也可终止于六边形空洞或硅滴处.氮元素掺杂可使6H-SiC晶体的晶格发生畸变,可导致产生新微管.

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