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研制了一种基于FET结构的Pt-LaF3混合膜全固态溶解氧传感器，对Pt-LaF3敏感膜机制以及传石器在的器件结构和响应特性进行了分析，并实际测试了器件特性，给出了在不同工作点和不同温度条件下器件的输出电压对溶解氧浓度变化的响应曲线。
基于FET结构的Pt—LaF3混合膜溶解氧传感器
【摘 要】
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研制了一种基于FET结构的Pt-LaF3混合膜全固态溶解氧传感器，对Pt-LaF3敏感膜机制以及传石器在的器件结构和响应特性进行了分析，并实际测试了器件特性，给出了在不同工作点和不同
【机 构】
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南开大学信息技术科学学院
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2001年9期
【基金项目】
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国家自然科学基金 (批准号 :6 9476 0 36 ),天津市自然科学基金 (批准号 :9414 0 70 0 7)资助项目~~
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