【摘 要】
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利用斜入射光反射差技术对表面光滑、上下面存在倾角为0.23°的20号钢样品表面进行扫描成像.成像结果显示:位置对斜入射光反射差信号产生明显影响,在扫描的0.3 mm×0
【机 构】
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中国石油大学（北京）新能源与材料学院中国石油和化工联合会油气太赫兹波谱与光电检测重点实验室
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利用斜入射光反射差技术对表面光滑、上下面存在倾角为0.23°的20号钢样品表面进行扫描成像.成像结果显示:位置对斜入射光反射差信号产生明显影响,在扫描的0.3 mm×0.3 mm范围内,2条对角线上的信号变化率分别为81.5%与33.3%.对于上下面存在微倾角的柱状样本,不同位置存在微小厚度差,使得光程发生变化,反射率及反射光相位发生改变,从而改变倍频信号的强度.因此,斜入射光反射差技术可检测材料表面的微倾角.
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