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采用沉淀法,以Zn(Ac)2·2H2O和InCl3为反应物制备不同形状的纳米掺铟氧化锌(ZIO)。通过X射线衍射(XRD)和能谱分析(EDS)确定In可进入ZnO晶格,且ZIO晶化度随In掺杂量的升高而降低。铟掺杂量为0.5%、1%(原子分数)的ZIO粉体显微粒度分别为20nm、50nm,由激光衍射粒度分析可知,后者的均一性更好、中位径更小。在透射电镜(TEM)和扫描电镜(SEM)下观察薄片状、类球状、六棱柱状的ZIO,并对不同形貌的ZIO形核机理进行探讨。