【摘 要】
：
基于氧化锌（ZnO）作压电层和蓝宝石作基底的高次谐波体声波谐振器（HBAR），采用不同电极材料和溅射方法进行优化。优化选定镀铬一金／氧化锌／铬．金／蓝宝石结构。对制备的器件进行了测试分
【机 构】
：
中国科学院声学研究所声学微机电实验室
论文部分内容阅读
基于氧化锌（ZnO）作压电层和蓝宝石作基底的高次谐波体声波谐振器（HBAR），采用不同电极材料和溅射方法进行优化。优化选定镀铬一金／氧化锌／铬．金／蓝宝石结构。对制备的器件进行了测试分析，结果显示，具有多模谐振特性的HBAR器件在2．87GHzQ值达到43000。根据一维Mason等效电路模型，HBAR器件还进行了理论仿真，结果表明理论结果与实测值基本一致。
其他文献
在金融市场日益发达和商业银行面临的风险复杂多变的背景下,经济资本管理作为崭新的风险管理理念,业已为业界所广泛关注,也愈来愈成为现代商业银行加强内部资本管理和风险管
目的探讨继发性胆总管结石的诊治特点。方法回顾2000年10月～2010年10月经CT、ERCP及MRCP检查确诊的148例胆总管结石患者的相关资料,其中72例患者是胆囊结石切除术后继发性胆总
<正>平面几何是初中数学的重要内容,因其涉及的知识点较多,对学生的空间分析能力要求较高,成为学习的难点。但正是因其独特的知识综合性,使得解题思路和方法呈现多样性。学生
<正>全国人大和全国政协每年在召开全体会议之前,都要由"两会"发言人分别举行新闻发布会,发布关于召开人大、政协会议的有关新闻,并回答中外记者提出的问题。这已经成为"两会
本文综述了国内外桃树砧木的应用和研究进展情况，重点在抗根结线虫、耐涝性、耐旱性、耐盐碱性、抗根癌病、抗重茬、抗寒性以及矮化砧木的研究进展方面，进行了综述。
联合国政府间气候变化专门委员会(IPCC)第四次评估报告指出,人类活动所产生的二氧化碳是导致全球气温升高的主要原因。为使人类免受气候变暖的威胁,1997年12月,日本京都召开
本研究針對台灣科技類共同基金之持股’採用．績效基金篩選法一資料包絡分析」(Data Envelopment Analysis)、績效股票篩選法-灰關聯分析(Grey Relation Analysis)、存貨控制模
道路网数据匹配是地理空间数据库进行变化探测和数据更新的重要前提,不同比例尺下的道路网之间的匹配是一个非常重要的部分。本文总结和分析了道路网匹配的已有算法,针对不同
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield
目的 探讨IVF/ICSI-ET周期中黄体支持维持的时间对临床妊娠结局的影响。方法 回顾性分析2016年1~12月在兰州大学第一医院生殖医学专科医院行IVF/ICSI-ET助孕并获得临床妊娠的